МАТЕМАТИЧНЕ МОДЕЛЮВАННЯ МУЛЬТИФРАКТАЛЬНИХ СТАНІВ ПОВЕРХНІ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ СТРУКТУР ZnCdTe – КРЕМНІЄВА ПІДКЛАДКА

Abstract

Виконано моделювання мультифрактальних станів поверхневого рельєфу напівпровідникових структур твердий розчин ZnCdTe – підкладка із кремнію. Як вхідні дані для аналізу використані дані атомно-силової мікроскопії (AFМ –спектроскопії). Цифрове зображення поверхні оброблено методами мультифрактального аналізу. Запропонована обчислювальна методика обробки просторових даних за площею поверхні шарів. Розраховано мультифрактальні спектри поверхні шарів вказаної системи твердих розчинів. Знайдені кореляційні залежності між параметрами мультифрактального спектра та технологічними умовами синтезу шарів.