ОСОБЛИВОСТІ СИНТЕЗУ СТРУКТУР НА ОСНОВІ ТВЕРДИХ РОЗЧИНІВ ZnCdTe МЕТОДОМ ВАКУУМНОГО АНОДНОГО НАПИЛЕННЯ

Рудніцький, В.А.; Москвін, П.П.; Rudnitskiy, V.A.; Moskvin, P.P.

dc.contributor.author	Рудніцький, В.А.
dc.contributor.author	Москвін, П.П.
dc.contributor.author	Rudnitskiy, V.A.
dc.contributor.author	Moskvin, P.P.
dc.date.accessioned	2016-03-22T12:20:30Z
dc.date.available	2016-03-22T12:20:30Z
dc.date.issued	2014
dc.identifier.uri	http://eztuir.ztu.edu.ua/123456789/2188
dc.description.abstract	Описаний ефективний метод отримання надтонких шарів – вакуумне анодне випаровування. Промислову установку для вакуумного напилення УРМ 3.279.014 адаптовано для синтезу надтонких шарів напівпровідникових твердих розчинів системи ZnCdTe. Досліджено умови функціонування випаровувача, який формує потоки речовини до зони синтезу. Розглянуто випадки, коли електрони діють безпосередньо на його робочу поверхню і є джерелом основного матеріалу, та випадок, коли емітовані електрони розігрівають стінки випаровувача (випаровувач працює як комірка Кнудсена). Також отримані дані за параметрами функціонування випаровувачів у цих умовах. Досліджені потоки пари в напрямі підкладки. Кількісна характеристика поверхні шарів здійснювалася з використанням методів мультифрактального аналізу. В роботі доводиться, що використання квазірівноважних умов випаровування призводить до стабілізації товщини шарів, які синтезуються, та надаються рекомендації щодо використання досліджених умов роботи випаровувачів.	uk_UA
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	ЖДТУ	uk_UA
dc.relation.ispartofseries	Вісник ЖДТУ. Серія: Технічні науки;4(71)
dc.subject	анодне напилення	uk_UA
dc.subject	комірка Кнудсена	uk_UA
dc.title	ОСОБЛИВОСТІ СИНТЕЗУ СТРУКТУР НА ОСНОВІ ТВЕРДИХ РОЗЧИНІВ ZnCdTe МЕТОДОМ ВАКУУМНОГО АНОДНОГО НАПИЛЕННЯ	uk_UA
dc.title.alternative	Features of synthesis of structures on the basis of solid solutions by a method of vacuum anode deposition	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA