Рудніцький, В.А.; Москвін, П.П.; Rudnitskiy, V.A.; Moskvin, P.P.
(ЖДТУ, 2014)
Описаний ефективний метод отримання надтонких шарів – вакуумне анодне випаровування.
Промислову установку для вакуумного напилення УРМ 3.279.014 адаптовано для синтезу
надтонких шарів напівпровідникових твердих розчинів ...