Москвін, Павло Петрович; Рудніцький, Валентин Анатолійович; Moskvin, P.P.; Rudnitskyi, V.A.
(Державний університет "Житомирська політехніка", 2019)
Розроблено конструкцію та модернізовано основні вузли обладнання для детонаційного напилення, що дозволяє проводити синтез напівпровідникових надтонких плівок. Модернізація установки проводилася з урахуванням особливостей ...